Dry release fabrication and testing of SiC electrostatic cantilever actuators

Liudi Jiang^*, M. Hassan, R. Cheung, A. J. Harris, J. S. Burdess, C. A. Zorman, M. Mehregany

^*المؤلف المقابل لهذا العمل

نتاج البحث: المساهمة في مجلة › Conference article › مراجعة النظراء