Size effect impact on the mechanical behavior of an electrically actuated polysilicon nanobeam based NEMS resonator

Ehsan M. Miandoab, Hossein N. Pishkenari, Aghil Yousefi-Koma, Farid Tajaddodianfar, Hassen M. Ouakad^*

^*المؤلف المقابل لهذا العمل

نتاج البحث: المساهمة في مجلة › Article › مراجعة النظراء