Fabrication of SiC microelectromechanical systems using one-step dry etching

Liudi Jiang^*, R. Cheung, M. Hassan, A. J. Harris, J. S. Burdess, C. A. Zorman, M. Mehregany

^*المؤلف المقابل لهذا العمل

نتاج البحث: المساهمة في مجلة › Article › مراجعة النظراء