A resonant pressure MEMS sensor based on levitation force excitation detection
Mohammadreza Zamanzadeh, Ilgar Jafarsadeghi-Pournaki, Hassen M. Ouakad*
*المؤلف المقابل لهذا العمل
نتاج البحث: المساهمة في مجلة › Article › مراجعة النظراء
19
اقتباسات
(Scopus)